利来w66(中国区)_来利国际旗舰

大族激光官网 语言 大族激光官网

选择国家/地区

English

中文繁體

한국어

日本語

ไทย

Tiếng Việt

Deutsch

客服热线：
400-666-4000
[→] 立即咨询
关闭 [x]
客服热线：
400-666-4000
[→] 立即咨询
关闭 [x]
LED步进式光刻机

LED步进式光刻机

产品特点 适用于4-6英寸基底LED硅芯片/蓝宝石芯片生产中的光刻工艺，采用超大曝光视场，大大减少曝光次数，显著提高产能；同时该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点。 

产品应用

应用范围：LED晶圆。

产品参数

主要参数加工尺寸4”、6“晶圆
加工速度4", 137pcs/h
6", 110pcs/h
加工精度分辨率2μm L/S
平台参数定位精度
X: ±200nm
Y: ±200nm
Z: ±350nm
Rx Ry Rz：10urad
激光器参数光源：2000W UV Lamp，波长365nm
感光区域：53*38.5mm
工作照度：>550mW/cm2(New lamp)
光源均匀度：≤3%
Tact time4”：43.1秒(第一片)，循环TT 25.6秒
6”：49.1秒(第一片)，循环TT 31.6秒
稼动率>95%


[图标] 联系我们
服务热线
服务热线:
400-666-4000
在线沟通
在线沟通:
立即咨询
查看更多联系、反馈方式
[↑]
打样申请/技术支持
[x]
*
*
*
咨询产品
验证码
标有 * 的字段为必填，收到后我们将在2个工作日与您联系
申请打样
[x]
*
*
*
*
*
标有 * 的字段为必填
*
激光加工类型（多选）
*
材料类型（多选）
验证码
标有 * 的字段为必填，收到后我们将在2个工作日与您联系
友情链接: